プロセス技術2020年代

2022年200mm SiCエピウェハーのサンプル出荷開始（レゾナック）

レゾナック（旧昭和電工）は、世界に先駆けて、パワー半導体に使用される200mm（8インチ）サイズの高品質（第３世代）SiCエピタキシャルウェハーのサンプル出荷を開始した。