1966年 日立IC 1号完成 〜パッケージング〜

日立は米国ＲＣＡ社からテレビ・コンピュータの設計製造技術を導入してＩＣ（集積回路）ＨＤ１００シリーズの製造を開始し、1966年1月には、最初のＩＣを神奈川工場に納入しＩＣ新時代の幕開けとなった。ＩＣは大型計算機の他、電子交換機や電子式卓上計算機に採用されるようになり、8月にはＩＣ累計生産が1800万個の生産を達成した。 ウエファー径は１インチ、ペレットサイズは1.2mm囗のＥＣＬ用で、TO型８〜１０ピンに搭載された。ウエファーからチップ（素子）の切り出しには、ダイアモンドの刃先で筋線の罫書きを入れ、罫書き部を支点として９０度曲げ加工で破断するスクラブ法が採用されていた。ICには、AND・NOR・NOTなどの回路が形成された。回路線幅は１５マイクロメータと太い線であった。Ａｌ配線上のパシベーション膜はなく、Ａｌ配線はむき出しであった。

【参考文献】 武蔵工場20年史「むさし工場20年のあゆみ」 工場新聞「むさし」 【移動ページ】 　. 【最終変更バージョン】 2010/12/19