1960年代前半
カセット・ツー・カセット方式
〜装置・材料／ファブ・共通〜
IMS(1963年にGCAが買収)はフォトレジストの全自動の塗布機および現像機を製作し、これにウェーハカセットを採用した(図１)。25枚のウェーハを出し入れするカセットで、塗布⇒露光⇒現像の工程間をカセットに収納して運び処理することができ、カセット・ツー・カセット方式と呼ばれた。この方式は後にSEMI規格になり、半導体製造の全工程に採用されて現在に到る。
図1 ウェーハカセット(写真)
【関連展示】
[1] 1971年：SEMIの発足
[2] 1988年：全自動化ファブ
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Ver.002/ 2019/12/18