1970年
SEMIの発足
〜装置・材料/ファブ・共通〜
1950年代に始まった半導体産業は、1960年代には半導体製造装置や材料のサプライ・チェーンが整って大きく発展した。こうした背景から、半導体製造装置や材料の標準化や行政への働きかけが必要となり、1970
年に半導体業界団体としてSEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute) が米国カルフォルニア州で発足した(1987年にSemiconductor
Equipment and Materials Internationalに改称>[1]。
1971年には、半導体製造装置や材料の展示会(現在のSEMICON West)が開催された。その後、セミコンショーはヨーロッパ(1975年)、日本(1977年)、韓国(1987年)、中国(1988年)、シンガポール(1993年)、台湾(1996年)で開催されるようになった。
1973年にはSEMIスタンダード委員会が設置され、シリコンウェーハ口径や厚さ、オリエンテーションフラット(結晶軸方向を示す印)などの業界規格化が進められた。その後、製造装置の安全性確保やFA化などの標準規格化活動にも展開された。
日米貿易摩擦が激しさを増す中、1985年にSEMI Japanが設立され、日米の半導体企業と装置・材料企業が協働的な活動を模索する日米トレード・パートナーズ会議が開催された。その後この会議はITPC(International
Technology Partners Conference)となり、半導体産業の世界的な発展を追求する国際会議となった。SEMI Japanに続いて、SEMI
Korea(1988)、SEMI Europe(1989)、SEMI Singapore(1993)、SEMI Taiwan(1995)、SEMI
China(2002)、SEMI India(2008)が設立されて、国際的に公正なサプライ・チェーンの構築・発展に向けた活動が続けられている[2]。
【参考文献】
[1] SEMIのあゆみ(SEMI
OEG)
[2] SEMI Japan
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