1970年代後半 リソグラフィー分野でプロジェクションアライナーが登場 〜プロセス技術〜

1970年代後半になると、マスクとウエーハの間にギャップのあるプロキシミティ露光方式では、微細化のトレンドに従った解像度を得ることが困難になってきた。替わって、マスクをレンズまたはミラーでウエーハ上に投影することによってピントの合ったパターンを露光できるプロジェクションアライナーが登場してきた。最初は、マスクと同じ大きさのパターンをウエーハ上に投影する等倍プロジェクションアライナーが実用化された。キヤノンは1970年に日本初の等倍プロジェクションアライナーPPC-1を発売したが2インチウエーハ対応であったことなどから発展せず、1973年にPerkin-Elmer社が発売したMicralignがその後のモデルチェンジを経て1970年代後半になって広く使われるようになった。キヤノンも1979年に5インチウエーハ対応のMPA-500を発売し、1980年代に入ってMPA-600へと発展させて、等倍プロジェクションアライナーの主流となった。 一方更なる微細化に対応するために、縮小投影露光装置が開発され始めた。縮小投影露光装置とは、実寸法の4倍ないしは5倍のマスクを精度良く作り、これをレンズで１／４ないしは１／５に縮小してウエーハ上に投影する装置である。この方式では、一度にウエーハ全面にパターンが投影されないので、一度露光するとウエーハを１歩動かして（Step）隣の位置で再度露光を繰り返す（Repeat）ので、Step and Repeat方式と呼ばれる。この方式の露光装置をステッパー（Stepper）と呼ぶ。最初にステッパーを発売したのはGCA社であるが（19７8年　モデル名DSW4800）、日本ではニコンが超LSI技術研究組合に試作機SR-1を納入した。その後ステッパーは1980年代以降の露光装置の主流となっていく。

国産初のプロジェクションアライナー（キヤノン）（１）

【参考文献】 1)　キヤノン（株）技術のご紹介 http://web.canon.jp/technology/approach/history/op_tech.html 【移動ページ】 プロセス技術/該当年代へ 【最終変更バージョン】 rev.003 2015/7/6