RoHS指令への対応

2000年代

RoHS指令への対応

～装置・材料～

2003年、欧州連合(EU)から電子・電気機器における特定有害物質の使用を規制するRoHS指令(Restriction of Hazardous Substance)が公布され、2006年7月1日から施行された。電子・電気機器のリサイクルや廃棄時に人体や環境に悪影響を及ぼさないように構造材料に有害物質を含まないようにする目的である。規制の対象となった有害物質は鉛、水銀、六価クロム、カドミウムや特定の有機物質など10品目である。EU加盟国に適用される指令であるが、欧州以外にも波及した。

世界の半導体企業もほとんどが本指令に準拠するようになり、半導体用材料企業もこれに準拠する材料開発や製品管理体制の整備が進められた。半導体チップ接続に使用される半田材料にAg-Snの鉛フリー半田が開発されたのはその具体例である。また規制物質を主成分としない材料についても、含有率の規準以内に抑えられるような生産管理体制が敷かれるようになった。半導体製造装置は施行時には規制の除外対象であったが、2010年ごろの廃止に備えて各企業とも準備が進められた。

[最終変更バージョン]
Ver.001 2020/12/25