日本半導体イノベーション50選  (T-9 1980年代)

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高品質シリコンウエハーの開発と製品化

1960年代になると日本でもシリコントランジスタの製造が開始された。そのためには高純度のシリコン結晶が必要であり、各社は内製のシリコン結晶引上げ装置・加工装置を開発して製造に取り組んだ。日本メーカーは結晶引き上げばかりでなくウエハーへの加工技術に於いても圧倒的な高品質を誇り、1970年代には海外販売にも注力し始める。その後大口径化においても世界をリードし、現在では、日系メーカーが世界需要の60%以上を供給している。

1956年に東芝で引上げられた
シリコン単結晶インゴット
シリコンインゴットとウェハー
(東芝半導体事業35年史 より) (信越化学HPより)

リンク欄

日本半導体歴史館 対象展示室

志村資料室 「シリコン産業の生みの親 『ワンパクさん』」

ウィキペディア 「シリコンウェハー」

電子情報通信学会知識ベースHP 知識の森 「シリコン結晶技術」(PDF)

半導体産業人協会 ENCORE誌 2007年7月号「シリコン事始」(PDF)