日本半導体イノベーション５０選　　（Ｔ-９　１９８０年代）

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高品質シリコンウエハーの開発と製品化

1960年代になると日本でもシリコントランジスタの製造が開始された。そのためには高純度のシリコン結晶が必要であり、各社は内製のシリコン結晶引上げ装置・加工装置を開発して製造に取り組んだ。日本メーカーは結晶引き上げばかりでなくウエハーへの加工技術に於いても圧倒的な高品質を誇り、1970年代には海外販売にも注力し始める。その後大口径化においても世界をリードし、現在では、日系メーカーが世界需要の60％以上を供給している。

1956年に東芝で引上げられた
シリコン単結晶インゴット		 シリコンインゴットとウェハー
（東芝半導体事業35年史 より） （信越化学HPより）

リンク欄

■日本半導体歴史館　対象展示室

■志村資料室　「シリコン産業の生みの親 『ワンパクさん』」

■ウィキペディア　「シリコンウェハー」

■電子情報通信学会知識ベースHP　知識の森　「シリコン結晶技術」(PDF)

■半導体産業人協会　ENCORE誌　2007年7月号「シリコン事始」(PDF)