日本半導体イノベーション５０選　　（Ｔ-７　１９８０年代）

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1981年にニコン、1984年にキヤノンがステッパを発売し、先行GCA社の性能を凌駕した。特に露光エリア10mm□の常識を、大口径レンズ技術の開発で一気に15mm□に広げ、超LSI 時代の幕開けをリードした。その後、光源は微細化のトレンドに乗ってg線からi線、KrF、ArFへと、波長の短いものに移行した。それにともなって、両社は新型レンズ、オートフォーカス、ステージ制御技術などの圧倒的開発力を誇り、両社が2000年頃まで世界シェアの70〜80%を占める時代が続いた。

リンク欄

■日本半導体歴史館　対象展示室

■半導体産業人協会　ENCORE誌 2008年2月号秋季セミナー報告　「私の歩んできた道（ステッパーと日本の製造業の変遷)」(PDF)

■ウィキペディア　「ステッパー」

■国立科学博物館HP　産業技術史資料情報センター
「露光装置技術発展の系統化調査」（PDF）

■ニコンHP　「カンパニーの概要」