日本半導体イノベーション５０選 （Ｄ-５ １９７０年代）
ＣＭＯＳ高速４ＫビットＳＲＡＭの開発と量産化
日立では1978年、二重ウエルCMOS構造を使った高速4KビットSRAMを開発して2月のISSCCで発表し、続いてHM6147として製品化した。
当時最高速を誇っていたインテル社の2147（4KビットNMOS製品）に比べて、HM6147は同一速度を達成し、消費電力は桁違いに小さくできることを実証した。日立では引き続いて16KビットSRAM（HM6116）の開発と量産化にも成功し、CMOSが主流デバイスになりうることを示した。
これらの事を契機として、マイコン、ロジック、DRAMなどでもCMOS化が進み、主流デバイスがNMOSからCMOSへと転換していった。
| ２重ウエルCMOSLSI断面構造 |
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| (日経エレクトロニクス CMOSを普及させたチップ(最終回) 2007.9.10 PP131-134)より |