黎明期の人々

垂井康夫 （たるいやすお）

１９２９年（昭和　４年）生 １９５１年（昭和２６年）早稲田大学第一理工学部電気工学科卒 　　　　　　　　　　　　　 工業技術院電気試験所入所 １９６５年（昭和４０年）電気試験所半導体部品研究室長 １９７６年（昭和５１年）超ＬＳＩ技術研究組合共同研究所所長 １９８１年（昭和５６年）東京農工大学電子工学科教授 １９９３年(平成５年)早稲田大学大学院客員教授 １９９５年(平成７年)紫綬褒章受賞 ２００１年(平成１３年)武田計測先端知財団常任理事 垂井康夫は黎明期からトランジスタ研究に参画するが、力を発揮するのはＩＣ、ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの集積回路であり、集積技術そのものの先導者である。１９６１年１月２１日に日本で最初のＩＣを完成させ、その後、「超高性能電子計算機」プロジェクトに参画。１９６８年に電子ビーム露光装置、翌年にショットキＴＴＬ、更にその翌年にはＤＳＡＭＯＳトランジスタを発案し、世界で最初に発表する。このプロジェクトを通してＮＭＯＳトランジスタを用いた１４４ビットＳＲＡＭを日本電気に委託、ハイブリッドＬＳＩを日立に委託し完成させている。１９７６年発足の「超ＬＳＩ技術研究組合共同研究所」では所長を務め、４年の開発期間で超ＬＳＩプロセス基盤技術を確立し、サブミクロンプロセスへの道を開くことにより、その後の日本半導体産業の隆盛を確実なものとする。 1953年電子通信学会早稲田賞、1970年同会業績賞、1978年同会論文賞、1977年全国発明表彰経団連会長発明賞、1990年ＳＳＤＭ（固体素子・材料）アワード、1991年Ｃ＆Ｃ賞、1995年紫綬褒章などを受章。主な著書『半導体デバイス』、『ＩＣの話』。

【参考文献】 【移動ページ】 黎明期の人々/該当年代へ 【最終変更バージョン】 ver000 2010/10/25

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