開発秘話:コータ・デベロッパ-(MARK V) [SEMI News]

日本半導体歴史館「開発ものがたり」検索用頁

- 開発ものがたりトップ頁に戻る -

このページは、SEMI News 2003年9-10月号 開発秘話のへのリンクを容易にするために、記事に含まれる主要な用語を格納しているページです。実際の記事へのリンクは上記あるいは下記タイトルをクリックしてください。

 SEMI News 2003年9-10月号 18~19頁 「コータ・デベロッパ-(MARK V)

 【上記の記事に含まれる主要な用語】

東京エレクトロン, 九州, クリーントラック, 木村義雄, パルスモーター, MARKII, 山梨, ロボット, コンダクションベーク, トラック搬送, 6インチ, ロボット搬送, プロセスモジュール, トラック方式, モジュール間搬送, カセット, 真空吸着ハンド, 外周保持搬送, パーティクル, OVEN, センダーカセット, レシーバーカセット, スロット, TEL, 1989年, 科学技術庁長官賞, MK-V,


この頁は、リンク先の記事内容を「開発ものがたり」の検索で有効にさせるためのものです。

 関連リンク欄

SEMI News 開発秘話集